加工光学系
加工光学系
193nmの紫外レーザから1.06umの近赤外レーザまでさまざまな波長に対応した溶接、リペア、アニーリング装置などに用いられる各種集光光学系、観察光学系を提供致します。
要素部品には当社コア技術である高耐力オプティクスを採用し、kW級装置においても高い信頼性を得ております。
製作実績
●対応波長の製作実績
- 深紫外(DUＶ)
- 紫外（UV）
- 可視（VIS）
- 近赤外（NIR）
●加工光学系の製作実績
- 集光光学系
- 観察光学系
- ファイバー出射光学系
- ファイバー集光光学系
- ファイバーカップリング光学系
- ホモジナイザ光学系
- レーザースキャニング光学系
- レーザーリペア光学系
- 露光用光学系
- 溶接用光学系
応用分野
レーザ溶接、レーザアニーリング、レーザリペア、レーザトリマ、エキシマレーザ穴あけ加工、液晶パネル加工、ウェハ加工
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