対物レンズ
対物レンズ
当社が得意とする高耐力ARコートが施されたレンズを高精度に組み上げた高耐力仕様のDUV用対物レンズです。各種微細加工や欠陥検出光学系に最適です。
応用分野
レーザ加工機、太陽電池製造・検査装置、半導体製造・検査装置、液晶製造・検査装置
製品例
| 型番 | 波長 | 焦点距離 | NA | 加工範囲 | WD | ウインドウ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| KVH20-8 | 248～266nm/546nm | 20mm | 0.2 | 0.5mm | 10.2mm | 交換可 |
| KVH40-9.6 | 248～266nm/546nm | 40mm | 0.12 | 2mm | 24mm | 交換可 |
| KV100-25 | 248nm | 100mm | 0.125 | 2mm | 70mm | なし |
| KV200-25 | 248nm | 200mm | 0.05 | 4mm | 192mm | なし |
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