THE NEW VALUE FRONTIER

対物レンズ

対物レンズ

紫外波長領域における最高級対物レンズ

 対物レンズは光学器械において、もっとも物体側に位置しているレンズのことで、望遠鏡と顕微鏡の対物レンズが代表的です。光学顕微鏡において対物レンズは基本的な性能・機能を決定付ける最重要光学ユニットです。
 当社は紫外波長域における最高級対物レンズの設計・製作を得意としております。

主な特徴

特長
 屈折タイプ、反射タイプ、反射屈折タイプをご用意
 高NA(~0.95)
 広視野(~φ6mm)
 波面収差による性能保証

用途
 半導体フォトマスク検査
 半導体ウェハ検査
 マスクライター
 レーザー加工

高NA紫外対物レンズPDF (347KB)
高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用)PDF (374KB)
半導体マスク・ウェハ検査用対物レンズPDF (825KB)
チタン製耐温度変化対物レンズ PDF (656KB)
紫外対物レンズ[カスタム製作](PDF (1401KB)

応用分野

レーザ加工機、太陽電池製造・検査装置、半導体製造・検査装置、液晶製造・検査装置

製品例

高NA紫外対物レンズPDF (498KB)

型番 波長 焦点距離 NA 視野 WD
ST266-4085 266nm 4mm 0.85 φ0.45mm 1mm
ST355-4085 355nm

高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用)PDF (434KB)

型番 波長 焦点距離 NA 視野 WD
CA266-4085 266nm 4mm 0.85 φ0.45mm 1mm
CA355-4085 355nm

半導体マスク・ウェハ検査用対物レンズPDF (825KB)

型番 波長 焦点距離 NA 視野 WD
MI193-5085 193nm 5mm 0.85 φ0.45mm 8mm
MI213-5085 213nm
MI248-5085 248nm
MI266-5085 266nm
MI355-5085 355nm

エキシマレーザー加工用対物レンズPDF (423KB)

型番 波長 焦点距離 NA 加工範囲 WD ウインドウ
KVH20-8 248~266nm/546nm 20mm 0.2 0.5mm 10.2mm 交換可
KVH40-9.6 248~266nm/546nm 40mm 0.12 2mm 24mm 交換可
KV100-25 248nm 100mm 0.125 2mm 70mm なし
KV200-25 248nm 200mm 0.05 4mm 192mm なし

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TEL 045-931-6592

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