対物レンズ
対物レンズ
対物レンズは光学器械において、もっとも物体側に位置しているレンズのことで、望遠鏡と顕微鏡の対物レンズが代表的です。光学顕微鏡において対物レンズは基本的な性能・機能を決定付ける最重要光学ユニットです。
当社は紫外波長域における最高級対物レンズの設計・製作を得意としております。
特長
屈折タイプ、反射タイプ、反射屈折タイプをご用意
高NA（～0.95）
広視野（～φ6mm）
波面収差による性能保証
用途
半導体フォトマスク検査
半導体ウェハ検査
マスクライター
レーザー加工
高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用)(pdf, 434KB)
半導体マスク・ウェハ検査用対物レンズ(pdf, 825KB)
チタン製耐温度変化対物レンズ (pdf, 656KB)
紫外対物レンズ[カスタム製作](pdf, 1401KB)
応用分野
レーザ加工機、太陽電池製造・検査装置、半導体製造・検査装置、液晶製造・検査装置
製品例
高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用)(pdf, 434KB)
| 型番 | 波長 | 焦点距離 | NA | 視野 | WD |
|---|---|---|---|---|---|
| CA266-4085 | 266nm | 4mm | 0.85 | φ0.45mm | 1mm |
| CA355-4085 | 355nm |
半導体マスク・ウェハ検査用対物レンズ(pdf, 825KB)
| 型番 | 波長 | 焦点距離 | NA | 視野 | WD |
|---|---|---|---|---|---|
| MI193-5085 | 193nm | 5mm | 0.85 | φ0.45mm | 8mm |
| MI213-5085 | 213nm | ||||
| MI248-5085 | 248nm | ||||
| MI266-5085 | 266nm | ||||
| MI355-5085 | 355nm |
エキシマレーザー加工用対物レンズ
| 型番 | 波長 | 焦点距離 | NA | 加工範囲 | WD | ウインドウ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| KVH20-8 | 248～266nm/546nm | 20mm | 0.2 | 0.5mm | 10.2mm | 交換可 |
| KVH40-9.6 | 248～266nm/546nm | 40mm | 0.12 | 2mm | 24mm | 交換可 |
| KV100-25 | 248nm | 100mm | 0.125 | 2mm | 70mm | なし |
| KV200-25 | 248nm | 200mm | 0.05 | 4mm | 192mm | なし |
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