対物レンズ

対物レンズ

 対物レンズは光学器械において、もっとも物体側に位置しているレンズのことで、望遠鏡と顕微鏡の対物レンズが代表的です。光学顕微鏡において対物レンズは基本的な性能・機能を決定付ける最重要光学ユニットです。
 当社は紫外波長域における最高級対物レンズの設計・製作を得意としております。

特長
 屈折タイプ、反射タイプ、反射屈折タイプをご用意
 高NA（～0.95）
 広視野（～φ6mm）
 波面収差による性能保証

用途
 半導体フォトマスク検査
 半導体ウェハ検査
 マスクライター
 レーザー加工

高NA紫外対物レンズ(pdf, 498KB)
高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用)(pdf, 434KB)
半導体マスク・ウェハ検査用対物レンズ(pdf, 825KB)
チタン製耐温度変化対物レンズ (pdf, 656KB)
紫外対物レンズ[カスタム製作](pdf, 1401KB)