製品情報　2020.11.16 半導体マスク・ウェハ検査用対物レンズのお知らせ

2020.11.16 半導体マスク・ウェハ検査用対物レンズのお知らせ

 当社が長きに渡って培った、超精密レンズ研磨技術、高耐力コーティング技術、高精度金属部品加工技術、高精度組立技術、の全てを駆使して製作可能となる超精密組レンズのご紹介です。

半導体マスク・ウェハ検査用対物レンズPDF (571KB)

■製品の特徴
 ◎無遮蔽・長作動距離なので半導体マスク・ウェハ観察用途に適しています。
 ◎レーザーのスペクトル内で色消ししているので、良好な結像特性が得られます。
 ◎干渉計により波面収差を測定して設計性能を数値保証します。
 ◎半導体マスク・ウェハ観察用途に適しています。

■製品仕様
 波長 : 193nm / 248nm / 266nm / 355nm
 タイプ : 屈折型
 開口数(NA) : 0.85
 焦点距離 : 5mm
 透過率 : 80%以上
 視野 : φ0.45mm
 波面収差 : ≦0.03 waves rms
 作動距離(WD) : ≧8mm
 寸法 : φ85mm×L205mm(フランジ部除く)
 質量 : 約4250g