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集光レンズ[355nm用,248nm用(エキシマレーザー)]

集光レンズ[355nm用,248nm用(エキシマレーザー)]

高耐力、長寿命

 レーザ微細加工用に最適な集光レンズです。高耐力コートが施されたレンズを、接着剤フリーで組み上げています。レーザによる微細加工用に最適です。
 355nmレーザー加工用とエキシマレーザー加工用がございます。

使用例
  • 切断
  • 光造形
  • ガラスへのマーキング

355nm集光レンズ

特徴
  • 加工時のスパッタ対策として交換可能なウィンドウを標準装備し、ウィンドウの厚みを選択することでガラス内部のマイクロ加工が行えます。
  • THP-6-8は集光スポット径が小さいので、マイクロ加工に最適です。
仕様
  THP6-8 THP50-20 THP80-20
波長 355nm
開口数(NA) 0.6 0.2 0.125
焦点距離 6.22mm 50mm 80mm
加工範囲 Φ0.01mm Φ0.5mm Φ0.8mm
集光スポット径 ≦Φ1μm
作動距離(WD) 3.3mm 45mm 73mm
取り付けネジ W20.32x36山/in M34xP0.75 M34xP0.75
ウィンドウ 有/交換可 なし なし
外形寸法図
THP6-8
THP6-8
THP50-20,80-20
THP50-20,80-20

248nm集光レンズ

特徴
  • エキシマレーザー(248nm)およびFHG-YAGレーザー(266nm)と可視光(480nm~650nm)の色消しにより、加工点の同時観察が可能です。
  • 顕微鏡に取付けるだけで、容易に加工が出来ます。
  • リレーレンズとの組合せにより、マスクイメージング倍率が可変出来ます。
仕様
  KVH20-8 KVH40-9.6 KV100-25 KV200-25
波長 248nm,266nm,
480~650nm
248nm,
480~650nm
248nm,
480~651nm
開口数(NA) 0.2 0.12 0.125 0.06
焦点距離 20mm 40mm 100mm 200mm
加工範囲 Φ0.5mm Φ2mm Φ2mm Φ4mm
加工分解能 1μm 2μm 3μm
作動距離(WD) 10.2mm 24mm 70mm 192mm
取付ネジ W26×36山/in W26×36山/in M32×0.75 M32×0.75
ウィンドウ 有/交換可 有/交換可
外形寸法図
KVH20-8
KVH20-8
KVH40-9.6
KVH40-9.6
KV100-25
KV100-25
適用リレーレンズによるマスクイメージング倍率
  リレーレンズ
KH200
R-22
KH400
R-22
K400
R-36
K600
R-36
K800
R-36
集光レンズ KVH20-8 1/10 1/20
KVH40-9.6 1/5 1/10
KV100-25 1/4 1/6 1/8