光学ユニット（技術情報）

個々のニーズに合わせてトータルソリューションを提供

レンズシステム、光学システムの設計から製造まで一貫して自社開発

お客様のご要望を実現する光学機器を世の中に送り出すために必要な、設計～部品製作～組立・調整～検査の全工程において、多岐に渡る様々なノウハウを有しております。
レンズ１ヶやレンズ数枚の簡単なレンズシステムから、部品点数が数千点に及ぶ複雑な光学システムまで、真空紫外から遠赤外まで、いずれも設計から製作まで対応しています。

光学システム製品のご案内 PDF (643KB)
チタン製耐温度変化対物レンズ PDF (550KB)
長作動距離液浸対物レンズPDF (631KB)
超長作動距離液浸対物レンズPDF (398KB)
紫外対物レンズ[カスタム製作]PDF (968KB)
光学系開発実績PDF (493KB)
マスク・ウェハ検査用対物レンズPDF (800KB)
高NA紫外対物レンズPDF (341KB)
高NA紫外対物レンズ（接着剤不使用）PDF (374KB)
レーザー加工用ｆθレンズ（YAGレーザー用）PDF (867KB)
レーザー加工用ｆθレンズ（ファイバーレーザー用）PDF (938KB)
レーザー加工用 355nm集光レンズPDF (705KB)
赤外用レンズPDF (610KB)
エキシマレーザー加工用対物レンズPDF (423KB)

製造・評価技術に裏付けされた提案型開発

自社で何が出来て何ができないかをお客様へ伝え、代替案を出してお客様と一緒に考えるソリューション型スタイルです。お客様のイメージを元に検討し、仕様を作っていくことから始めることもしばしばあります。
製品の評価のために、光学アライメント＆光学調整用の専用治工具を自社で設計開発することもあります。
耐水圧、耐放射線などの特殊環境下で用いられる光学系をお客様と一緒になって開発した実績があります。

様々な評価技術

【解析】
　　結像性能評価
　　照明均一性評価
　　コーティング分光特性評価
　　迷光解析評価
　　フレア解析評価
　　構造解析評価
【測定】
　　波面収差測定
　　集光スポット測定
　　ＭＴＦ測定
　　温度試験
　　振動試験

深紫外用光学系

波長が300nmより短い深紫外光を用いる光学系では、留意しなければならない様々な問題があります。当社は豊富な経験を基にした対応策を有しています。例としては、
　　硝材の選定
　　アウトガス対策
　　高耐力光学系の設計（硝材、コーティング）
　　自社製ＵＶ干渉計による波面測定
などがあります。
深紫外よりも短い波長域での光学系は、
　　266nm
　　248nm
　　213nm
　　193nm
　　157nm
での設計・製作実績があります。

高精度対物レンズ（高ＮＡ，広視野）

高精度対物レンズの製作には、基本となるレンズ設計・構造設計はもちろんのこと、それらを元にした公差解析及び構造解析を行った上で、実際の製品において設計性能を実現させるための様々な製造ノウハウを駆使した、製造工程設計が必須となります。
当社では
　　高精度レンズ加工（～λ／５０）
　　高耐力コーティング
　　広帯域コーティング
　　高精度機構部品加工（～１μｍ）
　　芯出加工機による加工（～１秒）
　　低歪み法による組立（～λ／１００）
　　偏心測定機による測定
　　点像調整
　　性能シミュレーション
　　波面収差評価（～λ／１００）
の全てを自社内で賄える強みを生かした工程設計を行い、これを元に高精度対物レンズを設計・製作しています。