マスク・ウェハ検査用対物レンズ
広視野・長作動距離と無収差の両立
マスク・ウェハ検査用対物レンズMIシリーズは広視野・長作動距離と無収差を両立し、半導体フォトマスク・ウェハ検査に適しています。
インターフェース部・各種リレーレンズのカスタム対応可能です。
主な特徴
- 特徴
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- 屈折光学系なので無遮蔽・長作動距離です。
- レーザーのスペクトル内で色消ししているので、良好な結像特性が得られます。
- 干渉計により波面収差を測定して設計性能を数値保証します。
- 半導体マスク・ウェハ観察用途に適しています。
- 用途
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- 半導体ウェハ検査装置
- 半導体マスク検査装置
- 透過波面収差評価例（MI266-5085）
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ラインナップ
| 項目 | MI193-5085 | MI266-5085 | MI355-5085 |
| 波長 | 193nm | 266nm | 355nm |
| バンド幅 （半値全幅） |
8pm | 5pm | 20pm |
| タイプ | 屈折型 | ||
| 開口数（NA） | 0.85 | ||
| 焦点距離 | 5mm | ||
| 透過率 | ≧80% | ||
| 波面収差（単色） | ≦0.03wave rms | ||
| 視野 | Φ0.3mm | Φ0.45mm | |
| 作動距離 | ≧8mm | ||
| 重量 | 約4.3kg | 約4.8kg | |
| 使用環境温度 | 23±0.5℃ | ||
外形寸法図
- MI193
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- MI-266/355
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