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マスク・ウェハ検査用対物レンズ

マスク・ウェハ検査用対物レンズ

広視野・長作動距離と無収差の両立

 マスク・ウェハ検査用対物レンズMIシリーズは広視野・長作動距離と無収差を両立し、半導体フォトマスク・ウェハ検査に適しています。
 インターフェース部・各種リレーレンズのカスタム対応可能です。

主な特徴

特徴
  • 屈折光学系なので無遮蔽・長作動距離です。
  • レーザーのスペクトル内で色消ししているので、良好な結像特性が得られます。
  • 干渉計により波面収差を測定して設計性能を数値保障します。
  • 半導体マスク・ウェハ観察用途に適しています。
用途
  • 半導体ウェハ検査装置
  • 半導体マスク検査装置
透過波面収差評価例(MI266-5085)
透過波面収差評価例(MI266-5085)

ラインナップ

項目 MI193-5085 MI266-5085 MI355-5085
波長 193nm 266nm 355nm
バンド幅
(半値全幅)
8pm 5pm 20pm
タイプ 屈折型
開口数(NA) 0.85
焦点距離 5mm
透過率 ≧80%
波面収差(単色) ≦0.03wave rms
視野 Φ0.3mm Φ0.45mm
作動距離 ≧8mm
重量 約4.3kg 約4.8kg
使用環境温度 23±0.5℃

外形寸法図

MI193
MI193
MI-266/355
MI-266/355

カタログダウンロード

半導体マスク・ウェハ検査用対物レンズ (pdf, 624KB)

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