高NA紫外対物レンズ（接着剤不使用品有）
高NA・対物レンズ
YAG高波長用の対物レンズです。高NAにより、集光スポット径が小さく、高耐力コートにより、ハイパワーレーザでの使用を可能としております。
また、接着剤不使用品もご用意しております。接着剤不使用品は、アウトガスを極限まで低減しております。
主な特徴
- 特徴
-
- 405nm用、355nm用、266nm用の3種類
- 高NAなので、集光スポット径が小さい
- 高耐力コートにより、ハイパワーレーザで使用可能
- 接着剤不使用品は、アウトガスを極限まで低減
- 用途
-
- 半導体検査等の高分解能イメージング
- サブミクロンのレーザ微細加工
- CA266-4085,CA355-4085,CA405-4085は接着剤不使用の製品です
-
仕様
| 項目 | CA266-4085 ST266-4085 |
CA355-4085 ST355-4085 |
CA405-4085 ST405-4085 |
| 波長 | 266nm | 355nm | 405nm |
| 開口数(NA) | 0.85 | ||
| 焦点距離 | 4mm | ||
| 透過率 | ≧85% | ||
| 視野 | Φ0.45mm | ||
| 理論分解能※1 | 0.19um | 0.25um | 0.29um |
| 集光スポット径※2 | Φ0.20um | Φ0.27um | Φ0.30um |
| 作動距離(WD) | 1mm | ||
| 同焦点距離 | 60mm | ||
| 外径 | CA：Φ45mm ST：Φ39mm |
||
| 取付ネジ | M25×0.75 | ||
※1. エアリーディスク半径=0.61λ/NA
※2. 集光スポット径＝4λM2f/πD。M2=1、f/D=1/2NAとして計算。
外形寸法図
- CA
-
- ST
-
カタログダウンロード
各種製品に関するお問い合わせは下記までご連絡ください。
