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高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用品有)

高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用品有)

高NA・対物レンズ

 YAG高波長用の対物レンズです。高NAにより、集光スポット径が小さく、高耐力コートにより、ハイパワーレーザーでの使用を可能としております。
 また、接着剤不使用品もご用意しております。接着剤不使用品は、アウトガスを極限まで低減しております。

主な特徴

特徴
  • 405nm用、355nm用、266nm用の3種類
  • 高NAなので、集光スポット径が小さい
  • 高耐力コートにより、ハイパワーレーザで使用可能
  • 接着剤不使用品は、アウトガスを極限まで低減
用途
  • 半導体マスク/ウェハ観察等の高分解能イメージング
  • サブミクロンのレーザー微細加工
CA266-4085,CA355-4085,CA405-4085は接着剤不使用の製品です
紫外対物レンズ(NA x 視野)

仕様

項目 CA266-4085
ST266-4085
CA355-4085
ST355-4085
CA405-4085
ST405-4085
波長 266nm 355nm 405nm
開口数(NA) 0.85
焦点距離 4mm
透過率 ≧85%
視野 Φ0.45mm
理論分解能※1 0.19um 0.25um 0.29um
集光スポット径※2 Φ0.20um Φ0.27um Φ0.30um
作動距離(WD) 1mm
同焦点距離 60mm
外径 CA:Φ45mm
ST:Φ39mm
取付ネジ M25×0.75

※1. エアリーディスク半径=0.61λ/NA
※2. 集光スポット径=4λM2f/πD。M2=1、f/D=1/2NAとして計算。

外形寸法図

CA
CA
ST
ST

カタログダウンロード

高NA紫外対物レンズ (pdf, 407KB)
高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用) (pdf, 375KB)

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