製品情報 2021.01.28 高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用)のお知らせ

2021.01.28 高NA紫外対物レンズ(接着剤不使用)のお知らせ

 ハイパワーの紫外レーザーで使用可能な微細加工用の対物レンズのご紹介です。

高NA紫外対物レンズ(007.pdf, 434KB)


■製品
 ◎YAG高調波用(355nm用と266nm用の2種類)
 ◎高NAなので、集光スポット径が小さい。
 ◎接着剤を使用せず、アウトガスを極限まで低減。
 ◎高耐力コートにより、ハイパワーレーザーで使用可能。

■用途
 ◎半導体マスク/ウェハ観察等の高分解能イメージング
 ◎サブミクロンのレーザー微細加工

■仕様
 波長 : 266nm / 355nm
 開口数(NA) : 0.85
 焦点距離 : 4mm
 透過率 : 85%以上
 視野 : φ0.45mm
 集光スポット径:φ0.19um / φ0.26um
 作動距離 : 1mm
 同焦点距離:60mm
 外径 : φ45mm
 取付ネジ : M25×0.75

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