計測光学系

計測光学系
半導体マスクやウエハの欠陥検出装置、液晶パネルの検査装置、ディスクの検査や計測、レーザ計測、環境計測など、様々な計測用光学系を提供致します。
要素部品は当社コア技術である精密研磨、高耐力コーティングを駆使して製作し、お客様の要望される性能、品質を満足した製品をご提供致します。
製作実績
●対応波長の製作実績
- 真空紫外(VUV)
- 深紫外(DUV)
- 紫外(UV)
- 可視(VIS)
- 近赤外(NIR)
- 赤外(IR)
- その他の波長についてもご相談に応じます。
●計測光学系の製作実績
- 高精度・高NA対物レンズ
- 集光光学系
- 観察光学系
- 照明光学系
- 検査光学系
- 投影光学系
- リレー光学系
- 分光分析用光学系
- 高さ検出光学系
- オートフォーカス光学系
- アナモルフィック光学系
- ファイバー出射光学系
- ファイバー集光光学系
- ファイバーカップリング光学系
- ホモジナイザ光学系
- コリメート光学系
- ライン集光光学系
- レーザースキャニング光学系
- LD用光学系
- レーザー送信光学系
- レーザー受信光学系
- 微分干渉光学系
- レーザー干渉計
- ズームエキスパンダ
応用分野
ウェハ欠陥検出装置、マスク欠陥検出装置、レチクル欠陥検出装置、液晶パネル検査装置、レーザレーダ、分光分析装置
設備(クリーンルーム)について
精密光学機器は、内部に僅かな埃が混入することを嫌うため、組立・検査の環境に細心の注意を払う必要があります。
当社はクリーン度別にクラス10万、クラス1万、クラス100の3種類のクリーンルームを備えており、全ての光学機器・光学系の組立・検査をクリーンルームの中で行っています。
