計測光学系

半導体マスクやウエハの欠陥検出装置、液晶パネルの検査装置、ディスクの検査や計測、レーザ計測、環境計測など、様々な計測用光学系を提供致します。
要素部品は当社コア技術である精密研磨、高耐力コーティングを駆使して製作し、お客様の要望される性能、品質を満足した製品をご提供致します。

ウェハ欠陥検出装置、マスク欠陥検出装置、レチクル欠陥検出装置、液晶パネル検査装置、レーザレーダ、分光分析装置

精密光学機器は、内部に僅かな埃が混入することを嫌うため、組立・検査の環境に細心の注意を払う必要があります。
当社はクリーン度別にクラス１０万、クラス１万、クラス１００の３種類のクリーンルームを備えており、全ての光学機器・光学系の組立・検査をクリーンルームの中で行っています。

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